Model 1061 SEM Mill氬離子束樣品裝備系統

FISCHIONE離子研磨系統


Main Function:

  • 可獨立分別調整能量和拋光角度的雙離子槍
  • 橫截面拋光和平面拋光兩機一體
  • 氬離子槍能量範圍從100eV到10kV
  • 單鍵全自動化操作,操作參數可儲存
  • 即時影像觀察樣品剪薄的過程
  • 操作簡易,維護方便

 

Ion milling (surface cleaning) and EBSD sample preparation

 (平面研磨、拋光)

 

 

 

 

 

樣品載台自動高度偵測(eucentric point)

 

 

Cross-Section polishing(離子束剖面研磨)

 

 

 

Cross-section station  精準的對位系統

 

 

 

簡易的操作介面