X-eye NF120 非破壞式穿透檢查機

X-eye NF120為晶圓級封裝檢查的無損分析設備,提供Dual Type的CT獲得高分辨率影像,TSV, Micro Bump, Pattern。


Nano-focus X-ray 檢測設備

400nano納米聚焦管,專門用於需要亞微米缺陷檢測的半導體封裝和晶圓級封裝(WLP)。

通過防振台軸的精確移動,可以精確地跟踪和檢查缺陷區域。

配備3D CT模組時可進行斷層掃描,從晶圓裝載到通過晶圓處理機安裝進行檢查讀取,還提供自動晶圓凹凸塊檢查。

規格說明

X-ray Tube 120 kV / 200 µA
Min. Resolution 0.2㎛
Table Size 12inch wafer
Detector 6 inch FPXD
CT Scan Method Oblique CT / Cone beam CT
Foot print 2,380 x 1,450 x 2,120 mm Control Box : 600 x 1,250 x 1,030 mm
Weight 7,000kg

Applications