• Motic PA200/PA300金相顯微鏡
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Motic PA200/PA300金相顯微鏡

半導體/FPD/工業檢測大平台正置金相顯微鏡

Motic 全新 PA200 / PA300 正置金相顯微鏡

專為晶圓表面缺陷與 FPD 液晶基板檢測設計

採用 C 型一體化防震機架、高解析平場半複消色差物鏡,
支援明暗視野、偏光、DIC 微分干涉與螢光觀察。

卓越影像 • 穩健防震 • 人體工學高效率檢測

Motic 全新推出的 PA200/PA300 大平台正置金相顯微鏡,採用靈活的模組化設計。專為半導體晶圓表面缺陷與 FPD 液晶基板等大型試樣高倍率觀察需求研發,提供極佳的襯度與清晰穩定的高畫質成像。

產品核心特點

  • • 極致穩固的防震結構: 全新 C 型一體化防震機架,具備低重心與高剛性特點,顯微鏡底座向兩側延伸,確保高倍率檢測時影像依然穩定不晃動。
  • • 頂級消色差光學物鏡: 搭載 Plan S-APO 平場半複消色差金相物鏡,將像差與色差減至最低,色彩還原度極佳;另可選配 LPlan S-APO 長工作距離物鏡。
  • • 人性化舒適操作設計: 標配 5-45° 可調角度三眼鏡筒,並採用前置低手位粗微調焦與中央控制面板,大幅減輕檢測人員長時間工作的疲勞感。
  • • 多功能編碼轉盤與智能照明: 支援明視野、暗視野、簡易偏光、DIC 微分干涉與螢光等多功能模組切換。智能照明系統可依物鏡倍率自動匹配最佳光圈。
  • • 大行程離子離合載物台: 支援大範圍快速移動與手輪微調雙模式,最大行程可達 425mm X 310mm,輕鬆滿足大尺寸試樣的全範圍邊緣檢測。
【技術規格】
 
PA200 系列 (明場 / 暗場) PA300 系列 (明場 / 暗場)

光學系統

無限遠校正光學系統 (CCIS)

光學系統

無限遠校正光學系統 (CCIS)

觀察模式

反射光、透射光(可選透反兩用機型)

觀察模式

反射光、透射光(可選透反兩用機型)

 照明光源

標配10W LED (選配100W 鹵素燈)

具備IL 亮度記憶及 ECO 節能功能


 照明光源

標配10W LED (選配100W 鹵素燈)

具備IL 亮度記憶及 ECO 節能功能


 目鏡/鏡筒


UC-WF 10X/25 超寬視野目鏡


5-45° 加長變角度三眼觀察筒


 目鏡/鏡筒


UC-WF 10X/25 超寬視野目鏡


5-45° 加長變角度三眼觀察筒


  物鏡倍率

5X, 10X, 20X, 50X, 100X


(可選配長工作距離 LPlan 物鏡)


  物鏡倍率

5X, 10X, 20X, 50X, 100X


(可選配長工作距離 LPlan 物鏡)


 物鏡轉換器


電動 5 孔(標配)/ 電動 6 孔(選配)


帶 DIC 插槽,具倍率自動識別功能


 物鏡轉換器


電動 5 孔(標配)/ 電動 6 孔(選配)


帶 DIC 插槽,具倍率自動識別功能

 手動載物台


行程:200mm X 200mm


(可選配 8 寸晶圓專用台板)


 手動載物台


行程:425mm X 310mm


(超大行程手動平台)


 電動載物台


行程:204mm X 204mm(選配)


 電動載物台


行程:300mm X 300mm

(選配,可搭12吋晶圓座)


 影像系統


可外接 Moticam 系列 1MP~20MP


專業數位影像系統與量測分析軟體


 影像系統


可外接 Moticam 系列 1MP~20MP


專業數位影像系統與量測分析軟體


 機身重量


約 65 kg


 機身重量

 

約 75 kg