Motic PA200/PA300金相顯微鏡
Motic 全新 PA200 / PA300 正置金相顯微鏡
專為晶圓表面缺陷與 FPD 液晶基板檢測設計
採用 C 型一體化防震機架、高解析平場半複消色差物鏡,
支援明暗視野、偏光、DIC 微分干涉與螢光觀察。
Motic 全新推出的 PA200/PA300 大平台正置金相顯微鏡,採用靈活的模組化設計。專為半導體晶圓表面缺陷與 FPD 液晶基板等大型試樣高倍率觀察需求研發,提供極佳的襯度與清晰穩定的高畫質成像。
產品核心特點
- • 極致穩固的防震結構: 全新 C 型一體化防震機架,具備低重心與高剛性特點,顯微鏡底座向兩側延伸,確保高倍率檢測時影像依然穩定不晃動。
- • 頂級消色差光學物鏡: 搭載 Plan S-APO 平場半複消色差金相物鏡,將像差與色差減至最低,色彩還原度極佳;另可選配 LPlan S-APO 長工作距離物鏡。
- • 人性化舒適操作設計: 標配 5-45° 可調角度三眼鏡筒,並採用前置低手位粗微調焦與中央控制面板,大幅減輕檢測人員長時間工作的疲勞感。
- • 多功能編碼轉盤與智能照明: 支援明視野、暗視野、簡易偏光、DIC 微分干涉與螢光等多功能模組切換。智能照明系統可依物鏡倍率自動匹配最佳光圈。
- • 大行程離子離合載物台: 支援大範圍快速移動與手輪微調雙模式,最大行程可達 425mm X 310mm,輕鬆滿足大尺寸試樣的全範圍邊緣檢測。
| PA200 系列 (明場 / 暗場) | PA300 系列 (明場 / 暗場) |
|---|---|
|
光學系統
|
光學系統
|
|
觀察模式
|
觀察模式
|
|
照明光源
|
照明光源
|
|
目鏡/鏡筒
|
目鏡/鏡筒
|
|
物鏡倍率
|
物鏡倍率
|
|
物鏡轉換器
|
物鏡轉換器
|
|
手動載物台
|
手動載物台
|
|
電動載物台
|
電動載物台
|
|
影像系統
|
影像系統
|
|
機身重量
|
機身重量
|

