結合SEM與EDS：結構分析必備工具
掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，簡稱SEM）
廣泛應用於化學、生物醫學、材料科學、半導體製造、微電路檢測等多個研究領域與工業部門。
它可為科研與工業品質檢測提供精確的微觀結構分析，揭示微小細節，
幫助專業人士進行更深入的材質研究與製程改善。
SEM 配備能譜儀（EDS）進行元素分析
大部分的掃描電子顯微鏡都會搭配能譜儀（Energy Dispersive Spectrometer，簡稱EDS）進行成分分析。需要特別注意的是能譜儀無法單獨使用，它是依附於電子顯微鏡來作為一個探測器進行工作。
通過與樣品相互作用的高能電子束，電子束會與樣品表面產生多種信號，
最常見的信號包括：背散射電子、二次電子、吸收電子、透射電子、特性X射線、Auger電子等。
這些信號可以用來對樣品的性能進行表徵和分析。
SEM 的工作原理
當電子槍發射出高能電子束並與樣品物質交互作用時，會產生各種信號，這些信號會被相應的接收器接收，並經過放大後，傳送至顯像管的網格上，進而調制顯像管的亮度。
設備通過逐點掃描成像的方式，將樣品表面不同的特徵轉換為視頻信號，
並完成一幀圖像的製作，最終在顯示屏上呈現出清晰的表面特徵圖像。
以下是SEM的工作原理圖
樣品製備：影響測試結果的關鍵環節
在了解SEM的工作原理後，接下來要重視的是樣品的製備過程。
許多人往往忽略了製樣對測試結果的重要性，實際上樣品的準備狀況會對測量結果產生直接的影響。
準備良好的待測樣品四大步驟：
電：良好的導電性能使樣品獲得更清晰的成像效果。如果樣品導電性差，可通過鍍金處理增強其導電性。
小：較小的樣品導電性更佳，且便於抽真空。
淨：保證待測面的乾淨、新鮮。
穩：樣品若未穩固固定，掃描過程中會導致圖像晃動，影響成像質量。
常見樣品狀態與製備方法：
塊狀樣品：可以直接放置在樣品台上，以導電碳膠帶固定。
薄膜樣品：同樣放置在樣品台上，以導電碳膠帶固定，保持良好導電性。
粉末樣品：使用雙面導電膠帶（如碳膠帶或銅膠帶）將粉末撒在膠帶上，使用洗耳球吹去多餘樣品。
經過適當的樣品製備後，導電性好的樣品可直接放入掃描電子顯微鏡的樣品倉中進行測試。
對於導電性差或非導電的樣品，則需要進行鍍金處理後，放入樣品倉並抽真空進行掃描。
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2025-11-03
